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J-GLOBAL ID：200903076981958286

原子間力顕微鏡用探針付カンチレバーおよびその製造方法

Inventor： 加道 博行 ,  任田 隆夫
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992271278
Publication number (International publication number)：1994123621
Application date： Oct. 09, 1992
Publication date： May. 06, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、原子間力顕微鏡用探針付カンチレバーとその製造方法に関するもので、特に、溝形状等のアスペクト比の比較的大きな凹凸を有する試料を精度良く測定するための探針付カンチレバーを提供することを目的とする。【構成】 原子間力顕微鏡用カンチレバー1の自由端近傍に、傾斜面3を設け、傾斜面上に酸化亜鉛針状結晶が延びたテトラポッド形状の構造体4を設け、傾斜面に垂直な針状結晶を探針5として用いる。

Claim (excerpt)：

カンチレバーの自由端近傍に傾斜面を有し、前記傾斜面上にテトラポッド形状の構造体を設けたことを特徴とする原子間力顕微鏡用探針付カンチレバー。

IPC (3)：

G01B 21/30 ,  H01J 9/14 ,  H01J 37/28