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J-GLOBAL ID：200903077007683977

ネガ型感放射線性樹脂組成物

Inventor：
西川 耕二

About 西川 耕二

, 
木村 徹

About 木村 徹

, 
岩永 伸一郎

About 岩永 伸一郎


Applicant, Patent owner：
JSR株式会社

About JSR株式会社


Agent (4)： 鈴木 俊一郎 ,  牧村 浩次 ,  高畑 ちより ,  鈴木 亨
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004087521
Publication number (International publication number)：2005274920
Application date： Mar. 24, 2004
Publication date： Oct. 06, 2005
Summary：
【課題】 バンプあるいは配線などの厚膜のメッキ造形物を精度よく形成することができる製造方法、この製造方法に好適な感度、解像度などに優れるネガ型感放射線性樹脂組成物、および該組成物を用いた転写フィルムを提供する。【解決手段】 (A)下記一般式(1)および/または(2)で表される構造単位を含有する重合体、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、および(C)感放射線性ラジカル重合開始剤を含有するネガ型感放射線性樹脂組成物およびこの組成物を用いたネガ型感放射線性樹脂膜を製造する。 【化1】【選択図】なし
Claim (excerpt)：
(A)下記一般式(1)および/または(2)で表される構造単位を含有する重合体、 (B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、および (C)感放射線性ラジカル重合開始剤 を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物。
IPC (6)：
G03F7/033 ,  C08F20/18 ,  C08F20/58 ,  G03F7/004 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027
FI (6)：
G03F7/033 ,  C08F20/18 ,  C08F20/58 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/40 521 ,  H01L21/30 502R
F-Term (29)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB11 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CA00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB15 ,  2H025CB42 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  2H025FA43 ,  2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA27 ,  4J100AL08P ,  4J100AM21P ,  4J100BA03P ,  4J100BC43P ,  4J100CA01 ,  4J100JA38
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (3)

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