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J-GLOBAL ID：200903077018222254

静電装置

Inventor： ダバイ ラド エイチ
Applicant, Patent owner： ダバイ ラド エイチ
Agent (1)： 朝倉 正幸
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2002550393
Publication number (International publication number)：2004516783
Application date： Dec. 04, 2001
Publication date： Jun. 03, 2004
Summary：

多数の第2電極(2)を設けた第1可撓電極(1)を備えて、この第1可撓電極(1)と共に可動する静電装置(10)。電荷によって、各々の第2電極(2)は、第1可撓電極(1)の偏向を生じ、この偏向は、共に運動する第2電極の動きにより増強される。多方向に運動させたり、回転や捻りといった動きを含めて、第1可撓電極を面内や面外に可動させるように静電装置を様々に異なる設計とするができる。こうした構成とすることで、静電装置は、集積回路の電圧に合わせて機能し、かつ、集積回路製造技術を使用して製造することができる。

Claim (excerpt)：

偏向可能な第1可撓電極と、該第1可撓電極に取り付けられ、これと共に可動する少なくとも1つの第2電極とを備え、電極に電荷が印加されると第1可撓電極に偏向を生じさせる静電装置。

IPC (2)：

H02N1/00 ,  B81B3/00

FI (2)：

H02N1/00 ,  B81B3/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 磁気記憶装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-238439   Applicant：富士通株式会社
• 磁気記録再生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-336374   Applicant：富士通株式会社