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J-GLOBAL ID：200903077023399154

赤外線検出素子

Inventor： 中邑 卓郎 ,  友成 恵昭
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社
Agent (1)： 松本 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992286385
Publication number (International publication number)：1994137938
Application date： Oct. 23, 1992
Publication date： May. 20, 1994
Summary：

【要約】【目的】 内部応力による素子損壊の恐れがなく高い吸収率が赤外線吸収機能を有し、感度の良好な赤外線検出素子を提供する。【構成】 この発明の赤外線検出素子1は、赤外線吸収機能が備わっているとともに前記赤外線の吸収に伴って生じた熱を受けて抵抗値が変化する薄膜抵抗体11を備えている赤外線検出部2が基板3の上に設けられている構成において、前記赤外線検出部が非晶質シリコンカーバイト層を有することにより前記赤外線吸収機能が備わっていることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

赤外線吸収機能が備わっているとともに前記赤外線の吸収に伴って生じた熱を受けて抵抗値が変化する薄膜抵抗体を備えている赤外線検出部が基板の上に設けられている赤外線検出素子において、前記赤外線検出部が非晶質シリコンカーバイト層を有することにより前記赤外線吸収機能が備わっていることを特徴とする赤外線検出素子。

IPC (2)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-215022
  
• 特開平4-268773
  
• 特開昭56-012521