Pat

J-GLOBAL ID：200903077037316936

容量式センサ及びそれを用いたシステム

Inventor： 松本 昌大 ,  鈴木 清光 ,  嶋田 智 ,  望月 康弘 ,  小出 晃 ,  市川 範男 ,  堀江 潤一 ,  仲沢 照美 ,  久保田 正則 ,  半沢 恵二
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立カーエンジニアリング
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996153717
Publication number (International publication number)：1998002911
Application date： Jun. 14, 1996
Publication date： Jan. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】検出部と信号処理回路部を同一基板に集積化した容量式センサにおいて、検出部の可動電極と電気回路部を空間的に分離することによって、可動電極と電気回路部の基板領域との間に寄生的に生じる静電容量を低減した容量式センサを提供すること。【解決手段】本容量式加速度センサはシリコン層10,シリコン酸化膜層9,シリコン層8,シリコン酸化膜層7,シリコン窒化膜層1よりなる5層構造により構成され、シリコン層8には固定部11によって支持され加速度によって移動する可動電極4と信号処理回路6を配置している。ここで、可動電極4はシリコン層8と空間的に分離されており、可動電極4とシリコン層8間の静電容量を低減している。また、可動電極4と信号処理回路6はポリシリコン配線5により接続されている。また、アルミ膜2を介してガラス3を接着することで、可動電極4を機密に封止している。

Claim (excerpt)：

計測対象物理量に応じて移動する可動電極と、前記可動電極の移動に応じて変化する静電容量を前記可動電極と共に形成する固定電極と、前記可動電極及び前記固定電極と電気的に絶縁された構造体と、前記構造体上に形成された電気回路(配線のみも含む)を有する容量式センサにおいて、前記構造体は前記可動電極の可動平面上に配置され、且つ、前記可動電極との間に少なくとも一部分に構造的な空間を設け、前記構造的な空間上を架橋する導電性材料により前記可動電極と前記電気回路間を電気的に接続したことを特徴とする容量式センサ。

IPC (2)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84

FI (2)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84 Z