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J-GLOBAL ID：200903077044140924

目標物移動装置、位置決め装置及び可動ステージ装置

Inventor： 蛯原 明光 ,  トーマス ノヴァク
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 岡部 正夫 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995143190
Publication number (International publication number)：1996063231
Application date： Jun. 09, 1995
Publication date： Mar. 08, 1996
Summary：

【要約】【目的】 高精度で位置及び運動を制御することができる装置を提供する。【構成】 装置10は、1又はそれ以上の整流リニアモータを用いる。リニアモータは、ガイドレスステージ14を、1つの長い直線方向に動かし、ある平面において、微動のヨー回転を行わせる。単一のボイスコイルモータ(VCM)70を保持するキャリア/従動子60は、長い直線運動の方向に動くステージを概ね追従するように制御される。VCM70は、ある平面において、電磁力を与えて、長い直線運動の方向に直交する直線方向に、ステージ14を微動させる。これにより、適正なアライメントが得られる。整流型リニアモータの一方の要素(つまり、コイル又は磁石)が、平面上を自在に動くことのできる駆動フレーム22の上に設けられる。駆動フレーム22は、反作用力によって駆動され、装置の重心位置を維持する働きを持つ。1つのリニアモータを使用する場合には、2つのVCM70を用いて、ヨー回転を補正することができる。

Claim (excerpt)：

ベース構造の基準面の上で、少なくとも第1の方向に直線的に動く第1の運動可能な部材を備える目標物移動装置において、(a)前記第1の運動可能な部材を前記基準面から懸架する第1の流体軸受手段と、(b)前記第1の方向において細長く、前記第1の方向と交差する方向を拘束するためのガイド面を有する、前記ベース構造に設けられるガイド部材と、(c)前記第1の運動可能な部材の側部に隣接して設けられ、前記基準面及び前記ガイド面に従って、前記第1の方向に動くことのできる、第2の運動可能な部材と、(d)前記第1の方向に向かう駆動力を発生するように、前記第1の運動可能な部材に設けられた第1の磁化部材と、前記第2の運動可能な部材に設けられた、第2の磁化部材とを具備し、前記第1及び第2の運動可能な部材の間に設けられた、電磁的な直線駆動手段と、(e)前記第2の運動可能な部材を、前記第1の運動可能な部材とは独立して、前記基準面から懸架すると共に、前記ガイド面に係合して、前記第1及び第2の磁化部材の間に間隔を維持するための、第2の流体軸受手段とを備え、前記電磁的な直線駆動手段を励起することにより、前記第1及び第2の運動可能な部材が、前記第1の方向において、それぞれ逆方向に動くようになされたことを特徴とする目標物移動装置。

IPC (3)：

G05D 3/00 ,  B23Q 1/34 ,  H01L 21/027

FI (4)：

H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 516 B ,  B23Q 1/02 T