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J-GLOBAL ID：200903077058816467

液晶表示装置

Inventor： 茶原 健一 ,  鬼沢 賢一 ,  斉藤 裕 ,  金子 寿輝 ,  原野 雄一 ,  藤井 和美
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998022978
Publication number (International publication number)：1999218786
Application date： Feb. 04, 1998
Publication date： Aug. 10, 1999
Summary：

【要約】【課題】断線不良が少ないため、歩留まりが高く表示ムラのない液晶表示装置を提供する。【解決手段】ゲート配線と、データ配線の少なくとも一方に、Mo組成25wt%-55wt%でかつNb組成0.7wt%-2.0wt%の範囲のCr-Mo-Nb合金膜、又はMo組成25wt%-55wt%でかつTi組成0.7wt%-2.0wt%の範囲のCr-Mo-Ti合金膜を用いることを特徴とする液晶表示装置。

Claim (excerpt)：

複数のゲート配線と、前記複数のゲート配線に交差するように形成された複数のデータ配線と、前記ゲート配線と前記データ配線の交点付近に形成された薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタに接続された画素電極と、前記ゲート配線,前記データ配線及び前記薄膜トランジスタを被覆するゲート絶縁膜と、絶縁性保護膜とを有する基板と、前記基板に対向する対向基板と、前記基板と前記対向基板との間に挟持された液晶層とを有する液晶表示装置であって、前記ゲート配線と前記データ配線の少なくとも一方が、CrとWを主体とする合金膜であることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (3)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 29/786

FI (4)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 29/78 612 C ,  H01L 29/78 617 M