スペクトル計測装置及び計測方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：絹谷信雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004154589
Publication number (International publication number)：2005337789
Application date： May. 25, 2004
Publication date： Dec. 08, 2005
Summary：

【課題】高速で高精度な2次元分布が得られるスペクトル計測装置及び計測方法を提供する。【解決手段】測定対象面20に光を照射し、その反射光を分光分析して、測定対象面20における2次元分布を計測する装置において、光を出射する光源11と、測定対象面20から反射されたサンプル光L1を走査する走査手段12と、走査手段12からサンプル光L1を導入し、案内する第1光ガイド部材13と、光源11から出射された光を一端側から導入し、案内する第2光ガイド部材14と、各光ガイド部材13,14の他端側に接続され、かつ、サンプル光L1及びレファレンス光L2をそれぞれ所定の波長バンドごとに掃引、変調するプログラマブル回折格子26、及び各波長バンドごとに各光のスペクトルの差を検出するアレイ検出素子29を有するマルチチャンネル分光器15とを備えた。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

測定対象面に光を照射し、その反射光を分光分析して、測定対象面における濃度分布や温度分布等の2次元分布を計測する装置において、光を出射する光源と、上記測定対象面から反射されたサンプル光を走査する走査手段と、上記走査手段からサンプル光を導入し、案内する第1光ガイド部材と、光源から出射された光をレファレンス光として一端側から導入し、案内する第2光ガイド部材と、各光ガイド部材の他端側に接続され、かつ、サンプル光及びレファレンス光をそれぞれ所定の波長バンドごとに掃引、変調するプログラマブル回折格子、及び各波長バンドごとに各光のスペクトルの差を検出するアレイ検出素子を有するマルチチャンネル分光器と、を備えたことを特徴とするスペクトル計測装置。

IPC (6)：

G01J3/18 , G01J3/36 , G01J5/48 , G01J5/58 , G01K11/12 , G01N21/27

FI (9)：

G01J3/18 , G01J3/36 , G01J5/48 B , G01J5/48 D , G01J5/58 , G01K11/12 C , G01N21/27 A , G01N21/27 B , G01N21/27 F

F-Term (43)：

2F056VF12 , 2F056VF13 , 2F056VF16 , 2G020BA17 , 2G020CA02 , 2G020CB03 , 2G020CC02 , 2G020CC07 , 2G020CC13 , 2G020CC42 , 2G020CC63 , 2G020CD04 , 2G020CD06 , 2G020CD12 , 2G020CD24 , 2G020CD36 , 2G020CD37 , 2G059AA01 , 2G059AA10 , 2G059BB08 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE12 , 2G059FF01 , 2G059GG05 , 2G059GG10 , 2G059JJ05 , 2G059JJ12 , 2G059JJ13 , 2G059JJ16 , 2G059JJ17 , 2G059KK04 , 2G059MM01 , 2G059MM10 , 2G059MM12 , 2G059MM17 , 2G066AA01 , 2G066AA04 , 2G066AC09 , 2G066BA12 , 2G066BA24 , 2G066BA27 , 2G066CA01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

画像分光法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-052556 Applicant：株式会社果実非破壊品質研究所

Cited by examiner (5)

特開昭63-313024
特開昭61-142442
特開昭56-042117

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