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J-GLOBAL ID：200903077083622294

構造体表面の品質を測定するための装置と方法

Inventor： ウヴェ・シュペリンク ,  ペーター・シュヴァルツ
Applicant, Patent owner： ビック-ガルトナー・ゲーエムベーハー
Agent (1)： 志賀 正武 (外8名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999290338
Publication number (International publication number)：2000131226
Application date： Oct. 12, 1999
Publication date： May. 12, 2000
Summary：

【要約】【課題】 構造体表面に品質を定量的に測定するための装置と方法を提供する。【解決手段】 1つ又は複数の光源を有する第1の光学的装置(露光管)2を使って、被測定表面の一部である測定面に事前設定された角度で光を当てる。第2の光学的装置(測定管)10は、1つ又は複数の感光性フォトセンサ13を有し、事前設定された第2の角度でこの測定面に向けられ測定面から反射される光を記録する。少なくとも1つの感光性の面を備えているこの1つ又は複数のフォトセンサ13は、反射された光について固有の電気的な測定信号を発信し、このとき第1及び第2の光学的装置2,10は、反射される光がその測定面の構造によって影響を受けるように設定されている。

Claim (excerpt)：

構造体表面の品質を定量化して測定する装置において、少なくとも1つの光源を備え、その光源の光を事前設定された角度で、被測定表面の一部である測定面に向ける第1の光学的装置と、事前設定された角度で前記測定面に向けられているとともに、前記測定面によって反射された光を記録し、少なくとも1つの感光性の面を有する少なくとも1つのフォトセンサを備え、この少なくとも1つのフォトセンサが、反射された光について固有である電気的な測定信号を発する第2の光学的装置と、測定フローを制御するために設けられ、少なくとも1つのプロセッサ装置及び少なくとも1つの記憶装置を有している評価装置と、出力装置と、を備え、前記第1の光学的装置及び前記第2の光学的装置は、反射された光が測定面の構造によって影響を受けるように構成されており、このとき前記評価装置は、反射された光を評価するとともに、その評価に基づいて少なくとも1つの構造特性値を導き出し、この構造特性値が前記測定面の構造によって規定された少なくとも1つの特性を特徴とする装置。

IPC (5)：

G01N 21/27 ,  G01B 11/30 ,  G01J 3/50 ,  G01N 21/57 ,  G01N 21/88

FI (5)：

G01N 21/27 Z ,  G01B 11/30 A ,  G01J 3/50 ,  G01N 21/57 ,  G01N 21/88 Z