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J-GLOBAL ID:200903077084490936

X線透過窓部材

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 永井 冬紀
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994131964
Publication number (International publication number):1995333399
Application date: Jun. 14, 1994
Publication date: Dec. 22, 1995
Summary:
【要約】【目的】 X線透過窓の面積が大きくても、機械的な強度に優れ、X線透過率の良いX線透過窓部材を提供する。【構成】 チップ23には、X線を透過させる物質で構成されるX線透過窓23aと、X線透過窓23a上に突設され、このX線透過窓23aを補強するサポート23bが設けられている。2つのチップ23の間にスペーサー12が介装されることにより、スペーサー12とX線透過窓23aの間に試料室13が画成される。サポート23bは格子状に設けられ、X線透過窓23aを構成する物質は、X線透過率の高い物質Si3N4,SiC,SiO2,BNまたはBeのうち少なくとも一つから形成されることが好ましい。
Claim (excerpt):
X線を透過させる物質で構成されるX線透過窓と、前記X線透過窓上に突設されて該X線透過窓を補強するサポートとが備えられることを特徴とするX線透過窓部材。
IPC (2):
G21K 5/00 ,  G21K 3/00

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