EL表示パネルのカラー表示用発光膜の成膜方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山口巖
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991266577
Publication number (International publication number)：1993108014
Application date： Oct. 16, 1991
Publication date： Apr. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】表示面にカラー表示画素がマトリックス配置されるEL表示パネルの製造工程を合理化しかつカラー表示用発光膜を作り込む際の欠陥画素の発生を減少させる。【構成】同じ表示カラーの画素用の電極膜部分に対応する窓パターンをもつマスク板をパネル面にほぼ接して配設した状態で同じ表示カラーの発光膜部分を窓パターンの位置に選択的にかつ一斉に成膜し、表示カラーの異なる発光膜部分を表示カラーごとに位置をずらせて順次に成膜することにより、発光膜に対するパターンニング工程を省略し、かつ発光膜のウエットエッチング時の吸湿により欠陥画素が発生するのを防止する。

Claim (excerpt)：

表示面内にカラー表示画素がマトリックス配置されるEL表示パネルにカラー表示用の発光膜を成膜する方法であって、同じ表示カラーの画素用の発光膜部分に対応して開口された窓パターンを備えるマスク板をパネル面にほぼ接して配設した状態で同じ表示カラーの発光膜部分を各窓パターンの位置に選択的にかつ一斉に成膜し、表示カラーの異なる発光膜部分を表示カラーごとに位置をずらせて順次に成膜することを特徴とするEL表示パネルのカラー表示用発光膜の成膜方法。

IPC (5)：

G09F 9/30 365 , C23C 14/04 , C23C 14/34 , H05B 33/10 , H05B 33/22

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平1-221892
特開平2-066871
特開昭62-043097

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