Pat

J-GLOBAL ID：200903077110582402

振動ジャイロの支持構造および支持方法

Inventor： 仲川 直寿 ,  藤本 克己 ,  豊島 功
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 岡田 全啓
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998324917
Publication number (International publication number)：2000146593
Application date： Nov. 16, 1998
Publication date： May. 26, 2000
Summary：

【要約】【課題】 振動ジャイロの温度ドリフトを小さくすることができる振動ジャイロの支持構造、およびそのような支持構造を得るための支持方法を得る。【解決手段】 振動ジャイロ10は、接合された直方体状の圧電体基板14a,14bと、その対向側面に電極16,18,20を形成した振動子12を含む。振動子12の屈曲振動の2つのノード点に対応する部分において、電極20に支持部材22a,22bを取り付ける。支持部材22a,22bは、電極20と一定の間隔を隔てるようにして、導電性接着剤24で電極20に固着される。そのために、電極20に導電性接着剤を印刷し、これに電極20と平行な面を形成して支持部を作製する。支持部の面に支持部材22a,22bを配置して、導電性接着剤で支持部に固定することにより、支持部材22a,22bを振動子12に取り付ける。

Claim (excerpt)：

側面に電極が形成された振動子の屈曲振動を利用して回転角速度を検出する振動ジャイロの支持構造であって、前記振動子を支持するために前記振動子の幅方向に延びる支持部材を有し、前記振動子の屈曲振動のノード点に対応する部分において、前記振動子の側面の前記電極と前記支持部材とが一定の間隔を隔てて、導電性接着剤で前記電極に前記支持部材が固着されることを特徴とする、振動ジャイロの支持構造。

IPC (2)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

F-Term (9)：

2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB09 ,  2F105CC06 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD11 ,  2F105CD13 ,  2F105CD20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 圧電振動角速度計用振動子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-123010   Applicant：株式会社ニコン
• 振動ジャイロ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-237245   Applicant：株式会社村田製作所
• 圧電振動子の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-130920   Applicant：キンセキ株式会社