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J-GLOBAL ID:200903077121163487

非金属材料表面の異常原因判定方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 石田 敬 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998213114
Publication number (International publication number):2000046738
Application date: Jul. 28, 1998
Publication date: Feb. 18, 2000
Summary:
【要約】【課題】 非金属材料表面の異常発生原因を確実かつ迅速に判定する方法と、その装置を提供すること。【解決手段】 非金属材料Sの表面の異常部Fにパルスレーザー光PLの照射位置を固定し、パルスレーザー光PLを前記照射位置に照射し、照射部より発生する発光光を分光分析して得られた発光スペクトルと、正常部にパルスレーザー光PLを照射し、照射部より発生する発光光を分光分析して得られた発光スペクトルとを比較することにより、異常部Fと正常部に存在する元素およびその濃度の差から、異常部を生じさせた原因を判定する。パルスレーザー光PLを繰り返し照射することにより、非金属材料Sの内部まで堀削できる。
Claim (excerpt):
非金属材料表面の異常部にパルスレーザー光の照射位置を固定し、パルスレーザー光を前記照射位置に照射し、照射部より発生する発光光を分光分析して得られた発光スペクトルと、正常部にパルスレーザー光を照射し、照射部より発生する発光光を分光分析して得られた発光スペクトルとを比較することにより、異常部と正常部に存在する元素およびその発光強度の差から、異常部を生じさせた原因を判定することを特徴とする非金属材料表面の異常原因判定方法。
F-Term (11):
2G043AA04 ,  2G043CA05 ,  2G043DA08 ,  2G043EA10 ,  2G043FA01 ,  2G043GA04 ,  2G043GA06 ,  2G043GA08 ,  2G043GB08 ,  2G043KA08 ,  2G043KA09
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (7)
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Cited by examiner (17)
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