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J-GLOBAL ID：200903077122403309

フッ素化ポリイミドの表面改良方法

Inventor： 松井 伸介 ,  高原 秀行 ,  輿水 博
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995217131
Publication number (International publication number)：1997059380
Application date： Aug. 25, 1995
Publication date： Mar. 04, 1997
Summary：

【要約】【課題】 フッ素化ポリイミド同士の接着性をプロセス加工に必要な程度に向上させる。また、フッ素化ポリイミドと金属膜との接着性をプロセス加工に必要な程度に向上させる。【解決手段】 通信用有機光学材料として用いるフッ素化ポリイミドを、O2ガスとCF4ガスとの混合ガスで前記CF4ガスを25%以下の混合比とする混合ガスのプラズマによって処理することにより、フッ素化ポリイミド同士の層間接着強度を向上させる。また、通信用有機光学材料として用いるフッ素化ポリイミドを、O2ガスとCF4ガスとの混合ガスで前記CF4ガスをほぼ50%の混合比とする混合ガスのプラズマによって処理することにより、フッ素化ポリイミドとTi膜との接着強度を向上させる。

Claim (excerpt)：

通信用有機光学材料として用いるフッ素化ポリイミドを、O2ガスとCF4ガスとの混合ガスで前記CF4ガスを25%以下の混合比とする混合ガスのプラズマによって処理することによりフッ素化ポリイミド同士の層間接着を行うことを特徴とするフッ素化ポリイミドの表面改良方法。

IPC (2)：

C08G 73/10 NTF ,  G02B 6/12

FI (2)：

C08G 73/10 NTF ,  G02B 6/12 N

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭63-308920
  
• 特開平4-008734