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J-GLOBAL ID：200903077136961550

間隙測定装置

Inventor： 斉田 雅裕
Applicant, Patent owner： 日本精工株式会社
Agent (1)： 渡部 敏彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996114320
Publication number (International publication number)：1997280830
Application date： Apr. 12, 1996
Publication date： Oct. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ワークの種類が変わってもマスクとワークとの間隙を正確に測定できる間隙測定装置を提供する。【解決手段】 間隙測定装置では、半導体レーザ1から射出された無偏光のレーザ光は収束レンズ2を通って偏光板3に入射する。偏光板3で直線偏光に変換された直線偏光光はマスク上面、マスク下面およびワーク上面で反射される。マスク下面およびワーク上面で反射された光は、結像レンズ6を通ってイメージセンサ7により受光される。信号処理部8はマスク下面からの反射光Ibとワーク上面からの反射光Icとによる2つの信号のピークをモニタに表示し、演算部9は反射光Ib、Ic間の距離gを算出してギャップdを算出する。距離gを算出する際、操作者は偏光板3を回転させて偏光角を調節し、モニタに表示される2つの信号のピークの高さを等しく揃えることができる。

Claim (excerpt)：

対向して保持される第1板状体と第2板状体との間の微小な間隙を、前記第1板状体に対して斜めから入射した光が前記第1、第2板状体の対向面でそれぞれ反射される第1反射光と第2反射光との光路差に基づいて測定する間隙測定装置において、前記第1板状体に入射する光の光路上に設けられ、該光を直線偏光光に変換する直線偏光光変換手段と、該変換された直線偏光光の偏光角を調節する偏光角調節手段とを備えたことを特徴とする間隙測定装置。

IPC (3)：

G01B 11/14 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G01B 11/14 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 511