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J-GLOBAL ID：200903077157273238

制御装置

Inventor： 岡本 佳彦
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 高田 守 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991266123
Publication number (International publication number)：1993108167
Application date： Oct. 15, 1991
Publication date： Apr. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 流体制御手段とそれ自身の異常を検出できる設定監視手段とからなる制御装置を提供することを目的とする。【構成】 シーケンスコントローラ1は、マスフローコントローラ2の制御開始から一定時間、動作の変動状態を監視することによりマスフローコントローラ2の異常を検出する。

Claim (excerpt)：

流体の体積流量を制御する流量制御手段と、前記流体制御手段の動作条件が設定してあり前記流体制御手段の制御の動作開始直後の前記動作の変動を監視することにより前記流体制御手段の異常を検出する設定監視手段とから構成された制御装置。

IPC (3)：

G05D 7/06 ,  G05B 23/02 302 ,  H01L 21/205