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J-GLOBAL ID：200903077174976986

シャドーマスク用活性エネルギー線硬化性エッチングレジスト

Inventor： 城ノ下 幸慶 ,  桑原 昌美
Applicant, Patent owner： 東洋インキ製造株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997250321
Publication number (International publication number)：1999092964
Application date： Sep. 16, 1997
Publication date： Apr. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】アルカリ溶解・剥離性と耐エッチング液性とを併せ持つシャドーマスク用エッチングレジストの提供。【解決手段】(a)リン酸基を有するアクリレートまたはメタクリレート化合物、および(b)他のアクリレートまたはメタクリレート化合物を含むことを特徴とするシャドーマスク用活性エネルギー線硬化性エッチングレジスト。

Claim (excerpt)：

(a)リン酸基を有するアクリレートまたはメタクリレート化合物、および(b)他のアクリレートまたはメタクリレート化合物を含むことを特徴とするシャドーマスク用活性エネルギー線硬化性エッチングレジスト。

IPC (4)：

C23F 1/00 102 ,  C08L 43/02 ,  C09D 5/00 ,  C09D143/02

FI (4)：

C23F 1/00 102 ,  C08L 43/02 ,  C09D 5/00 C ,  C09D143/02