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J-GLOBAL ID：200903077175596354

超純水の製造装置、製造方法及び製造装置の制御方法

Inventor： 伴 功二 ,  福本 隼明
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991341110
Publication number (International publication number)：1993169061
Application date： Dec. 24, 1991
Publication date： Jul. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 この発明は、コロイダル状不純物を中心とした荷電性及び中性の不純物を高効率で除去できる超純水の製造装置、製造方法及び製造装置の制御方法を得ることを目的とする。【構成】 配管1から前処理水がカチオン交換樹脂塔2に導入される前に、pH調整剤注入管15より例えば酸としてH2CO3を注入し、前処理水のpHを約4程度に下げ、H+イオンを供給する。この結果、0からマイナス側である不純物のゼータ電位は、0に近くなり、クーロン反発力が弱まって、不純物は凝集、微粒子化する。さらに、処理水の水質に応じてRO装置又は、酸化反応塔及び後段RO装置に切り替えて処理する制御も行うことができる。

Claim (excerpt)：

カチオン交換樹脂塔、脱炭酸塔及びアニオン交換樹脂塔を設けた超純水の製造装置であって、処理水のpHを調整することにより処理水中に含有されている不純物のゼータ電位を変化させ、不純物の凝集化もしくはイオン化を図るpH調整剤注入手段を備えたことを特徴とする超純水の製造装置。

IPC (6)：

C02F 1/42 ,  B01D 61/04 ,  C02F 1/44 ,  C02F 1/52 ,  C02F 1/72 ,  C02F 9/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭60-019091
  
• 特開平2-207888
  
• 純水の製造方法及び装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-183225   Applicant：日立プラント建設株式会社