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J-GLOBAL ID：200903077310209765

フオトレジスト用ビニルフエノール系重合体の精製方法

Inventor： 松本 理 ,  赤穂 満
Applicant, Patent owner： 丸善石油化学株式会社
Agent (1)： 加藤 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991339728
Publication number (International publication number)：1993148309
Application date： Nov. 28, 1991
Publication date： Jun. 15, 1993
Summary：

【要約】【構成】 ビニルフェノール系重合体を溶媒に溶解して第VIII族金属触媒の存在下に水素と接触させる水素化工程に付し、該水素化工程の処理溶液を強酸性カチオン交換樹脂と接触させる金属除去工程に付す。【効果】 遠紫外光の透過率が向上され、かつ金属含有量の低減されたフォトレジスト用の精製ビニルフェノール系重合体を得ることができ、しかもかかる精製ビニルフェノール系重合体が水素化工程の処理溶液を金属除去工程に付すという簡単な操作で容易に経済的に得ることができる。

Claim (excerpt)：

ビニルフェノール系重合体を溶媒に溶解して第VIII族金属触媒の存在下に水素と接触させる水素化工程に付し、該水素化工程の処理溶液を強酸性カチオン交換樹脂と接触させる金属除去工程に付すことを特徴とするフォトレジスト用ビニルフェノール系重合体の精製方法。

IPC (3)：

C08F 6/08 MFK ,  C08F 8/04 MGB ,  C08F 12/24