シート状基材の放電プラズマ処理方法及びその装置

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998296814
Publication number (International publication number)：2000082595
Application date： Oct. 19, 1998
Publication date： Mar. 21, 2000
Summary：

【要約】【課題】大気圧近傍の圧力下においてシート状基材に連続的な放電プラズマ処理を行え、かつ基材走行速度を高速化しても均一な処理を行えるようにする。【解決手段】対向電極1a,1b間に放電プラズマを発生させた状態で、その対向電極間の放電空間2にシート状基材9を連続的に走行させることにより、放電プラズマ処理を行う方法または装置において、対向電極1a,1bの一方または双方の対向面を固体誘電体3a,3bで覆うとともに、対向電極間の放電空間2を固体誘電体からなる遮断壁4a,4bにより囲むことによって、放電空間2内に、処理用ガスが電極幅方向に略均一かつ連続的に供給されるようにする。

Claim (excerpt)：

対向電極間に放電プラズマを発生させた状態で、前記対向電極間の放電空間にシート状基材を連続的に走行させることにより、放電プラズマ処理を行う方法であって、前記対向電極の一方または双方の対向面は固体誘電体で覆われてなり、前記対向電極間の放電空間は固体誘電体からなる遮断壁により囲まれ、前記放電空間内に処理用ガスを電極幅方向に略均一かつ連続的に供給することを特徴とする、シート状基材の放電プラズマ処理方法。

IPC (4)：

H05H 1/24 , C23C 16/40 , C23F 4/00 , C08J 7/00 306

FI (4)：

H05H 1/24 , C23C 16/40 , C23F 4/00 Z , C08J 7/00 306

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (13)

放電プラズマ処理方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-286602 Applicant：積水化学工業株式会社
シート状基材の連続処理方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-283973 Applicant：積水化学工業株式会社
特公昭63-036389

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