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J-GLOBAL ID：200903077343610023
原子間力顕微鏡用カンチレバーおよびその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992054665
Publication number (International publication number)：1993079835
Application date： Mar. 13, 1992
Publication date： Mar. 30, 1993
Summary：
【要約】【目的】 原子間力顕微鏡用カンチレバーとその製造方法に関し、溝形状等のアスペクト比の比較的大きな凹凸を有する試料を精度良く測定するためのカンチレバーを提供することを目的とする。【構成】 原子間力顕微鏡用カンチレバー1の先端部に、正四面体の体心から4頂点方向に酸化亜鉛針状結晶が延びたテトラポッド形状の構造体2を設け、針状結晶を探針として用いる。
Claim (excerpt)：
少なくとも一部分に直線状の針状結晶を含む構造体で形成された探針を具備していることを特徴とする原子間力顕微鏡用カンチレバー。
IPC (3)：
G01B 21/30
, H01J 9/14
, H01J 37/28
