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J-GLOBAL ID：200903077344046857
円弧状反りレバー型アクチュエータ及び情報入出力用プローブ並びに該プローブを用いた情報処理装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994209607
Publication number (International publication number)：1996075758
Application date： Sep. 02, 1994
Publication date： Mar. 22, 1996
Summary：
【要約】【目的】 レバー先端部の変位量が大きく、基板との間に空隙を設ける作製工程における歩留りが大きい円弧状反りを有するレバーを備えたプローブを提供すること。このプローブを利用して対象試料範囲が大きく、したがって操作能率のよい情報処理装置を提供する。【構成】 請求項1のレバーの少なくとも一部が水平梁に平行な軸線を中心とする円弧状に反っている。請求項2のものはレバーが当初平板状であるが、中電極および圧電体を備え、上、中電極間に圧電駆動時にレバーが請求項1と同様に円弧状の反りを生ずる。両ケースとも、従来法と同様の上下電極の静電駆動を受けたレバーが、梁のねじれ弾性により搖動する。
Claim (excerpt)：
基板上方のねじれ弾性をもった水平梁に搖動可能に固定され前記基板との間に空隙を有する微小変位レバーと、該微小変位レバーを搖動させるための静電駆動手段とを有するアクチュエータにおいて、前記微小変位レバーの少なくとも一部が前記水平梁に平行な軸線を中心とする円弧状に反っていることを特徴とする円弧状反りレバー型アクチュエータ。
IPC (5)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, G11B 9/02
, H01L 21/66
, H01L 41/09
