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J-GLOBAL ID：200903077355504369

ダミーウェハ及びその製造方法

Inventor： 若田 昌志 ,  佐竹 厚則 ,  須田 吉久
Applicant, Patent owner： 三菱鉛筆株式会社
Agent (1)： 石田 敬 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999080284
Publication number (International publication number)：2000272910
Application date： Mar. 24, 1999
Publication date： Oct. 03, 2000
Summary：

【要約】【課題】 反りが少なく、純度の高いダミーウェハを製造する。【解決手段】 液状樹脂を出発原料として複数枚のBステージフィルムを作成し、それらを貼り合わせ、加熱硬化させ、真空中で焼成する。

Claim (excerpt)：

ガラス状炭素からなるダミーウェハにおいて、複数の層で構成される事を特徴とするダミーウェハ。

IPC (3)：

C01B 31/02 101 ,  C04B 35/52 ,  H01L 21/02

FI (3)：

C01B 31/02 101 A ,  H01L 21/02 B ,  C04B 35/52 F

F-Term (8)：

4G032AA07 ,  4G032BA04 ,  4G032GA12 ,  4G046CA04 ,  4G046CB06 ,  4G046CC01 ,  4G046CC02 ,  4G046CC03