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J-GLOBAL ID：200903077360867011

多層階クリーンルーム

Inventor： 郡山 広久 ,  木崎原 稔郎 ,  加藤 泰司
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 高橋 光男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993346536
Publication number (International publication number)：1995180871
Application date： Dec. 22, 1993
Publication date： Jul. 18, 1995
Summary：

【要約】【目的】 工程内及び工程間の搬送時間を短くかつ搬送形態を容易にし、塵埃を低減し、かつ、セットアップ・メンテナンスを容易にするとともにクリーンエリアを小さくする事で空調にかかるランニングコスト及びイニシャルコストを削減する。【構成】 半導体及び精密機械等の製造に用いるクリーンルームの中で、製品2を工程間搬送する手段3と、製品ストッカー5と、それらのやり取り及び装置1間の搬送を行う手段4を有するクリーンルームにおいて、装置1を前記工程間搬送する手段3を中心に円形上または多角形上に配置し、更に、それらを多層階の棟に積み上げることにより、従来平面上にレイアウトされていた装置1を立体的に配置する事により、クリーンエリアを小さくする事で空調にかかるランニングコスト及びイニシャルコストを削減する。

Claim (excerpt)：

製品を工程間搬送する手段と、製品ストッカーと、それらのやり取り及び製造装置間の搬送を行う手段を有するクリーンルームにおいて、製造装置を前記工程間搬送する手段を中心に円形上または正多角形上に配置し、更に、それらを複数層の棟に積み上げて配置したことを特徴とする多層階クリーンルーム。

IPC (3)：

F24F 7/06 ,  B65G 49/00 ,  H01L 21/02