水晶振動子の製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (1)：長谷川芳樹 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996197813
Publication number (International publication number)：1998041772
Application date： Jul. 26, 1996
Publication date： Feb. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】安定した振動を行うことが可能な水晶振動子の製造方法を提供する。【解決手段】線分18及び第1線分13及び第2線分17によって規定される水晶振動子の股部のエッチングは、水晶の結晶方位に応じて進行するので、この股部を境界として互いに対向する2つの水晶振動片側面の形状を対称とすることができ、双方の水晶振動片に印加される応力を等しくすることができる。

Claim (excerpt)：

水晶からなる基部及び前記基部から同一方向に延びており電圧が印加されることによって振動可能な第1及び第2水晶振動片を備えた水晶振動子の製造方法において、水晶のZ軸に沿った軸に直交した主表面を有する水晶ウエハを用意する工程と、基部対応領域及び前記基部対応領域から前記水晶ウエハの所定のX軸に直交する軸に沿って同一方向に延びた第1及び第2振動片対応領域を有するマスクを前記主表面上に形成する工程と、前記マスクの形成された前記水晶ウエハをエッチングすることにより、前記マスクの前記基部対応領域及び前記第1及び第2振動片対応領域直下にそれぞれ前記基部及び前記第1及び第2水晶振動片を形成する工程と、を備え、前記基部対応領域の外周は、前記第1及び第2振動片対応領域間に位置して前記X軸に沿って延びた所定部分を有し、前記第1振動片対応領域の外周は、前記基部対応領域の前記所定部分の一端にその一端で連続し、前記X軸と約30度の角度を成して前記第1振動片対応領域の先端に近付く方向へ延びた第1線分を有し、前記第2振動片対応領域の外周は、前記基部対応領域の前記所定部分の他端にその一端で連続し、前記X軸と約30度の角度を成して前記第2振動片対応領域の先端に近付く方向へ延びた第2線分を有することを特徴とする水晶振動子の製造方法。

IPC (3)：

H03H 3/02 , G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (3)：

H03H 3/02 D , G01C 19/56 , G01P 9/04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

特開昭55-162612
特公平2-039886

Cited by examiner (4)

特開昭55-162612
特開昭55-162612
特公平2-039886

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