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J-GLOBAL ID：200903077468663269
プローブ、プローブホルダ、プローブとプローブホルダとの組み合わせおよび走査型顕微鏡
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
三品 岩男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991295939
Publication number (International publication number)：1993133738
Application date： Nov. 12, 1991
Publication date： May. 28, 1993
Summary：
【要約】【目的】プローブの交換を短時間で容易に行うことができる走査型顕微鏡のプローブおよびプローブホルダを提供する【構成】可撓性のカンチレバー部と探針とを有する1以上のプローブと、前記プローブを保持するためのプローブホルダとにおいて、前記プローブホルダは、前記プローブを一方向にのみ可動にする案内部を有し、前記プローブは前記案内部に嵌合する嵌合部を有することを特徴とするプローブおよびプローブホルダ。
Claim (excerpt)：
可撓性のカンチレバー部と探針とを有する1以上のプローブと、前記プローブを保持するためのプローブホルダとの組み合わせにおいて、前記プローブホルダは、前記プローブを一方向にのみ可動にする案内部を有することを特徴とするプローブとプローブホルダとの組み合わせ。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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