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J-GLOBAL ID：200903077469128839

電子放出素子およびその製造方法

Inventor： 松谷 茂樹 ,  浅井 朗 ,  山本 敬介 ,  野間 敬 ,  奥田 昌宏 ,  杉岡 秀行 ,  長田 芳幸
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 渡辺 徳廣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993235966
Publication number (International publication number)：1995065705
Application date： Aug. 30, 1993
Publication date： Mar. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】 電子放出部となる微粒子配置の設計が可能で、素子間のバラツキが少なく、微粒子の材料も自由に選択でき、放出電子の電流の大電流化が可能な電子放出素子およびその製造方法を提供する。【構成】 走査トンネル顕微鏡の探針を使用して形成された微粒子分散型薄膜を電子放出部として有する電子放出素子。絶縁体上に形成された導電性のある薄膜を走査トンネル顕微鏡の探針によって切削し、実効的に微粒子分散型薄膜を形成することによって電子放出部を形成する電子放出素子の製造方法。

Claim (excerpt)：

走査トンネル顕微鏡の探針を使用して設計されたように、整形又は加工する事により形成された微粒子分散型薄膜を電子放出部として有することを特徴とする電子放出素子。

IPC (2)：

H01J 1/30 ,  H01J 9/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開平1-149335