Pat

J-GLOBAL ID：200903077526186735

薄膜磁気ヘッド及び磁気ディスク記録再生装置

Inventor： 東 和文 ,  天辰 篤志
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 薄田 利幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995280763
Publication number (International publication number)：1997128708
Application date： Oct. 27, 1995
Publication date： May. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】良好な耐磨耗性、耐腐食性を有する薄膜磁気ヘッドを提供すること。【解決手段】保護膜成膜途中に中断して水素プラズマ照射し、また、成膜を継続し、この操作を周期的に複数回繰り返すことにより得られる、膜厚方向に多層の高密度保護膜層を有する積層膜をヘッド浮上面保護膜として用いる。

Claim (excerpt)：

磁気ヘッドスライダの磁気ディスク対向面に、水素化非晶質炭素系材料の積層膜を保護膜として形成してなる磁気ヘッドであって、積層された保護膜の密度が、膜厚方向に周期的に変化した部分を有して成る薄膜磁気ヘッド。

IPC (6)：

G11B 5/31 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/50 ,  G11B 5/187 ,  G11B 5/255 ,  G11B 5/60

FI (6)：

G11B 5/31 D ,  C23C 14/06 F ,  C23C 16/50 ,  G11B 5/187 K ,  G11B 5/255 ,  G11B 5/60 Z