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J-GLOBAL ID：200903077535036290

ポジ型感光性組成物

Inventor： 佐藤 健一郎 ,  児玉 邦彦
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 小栗 昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001354581
Publication number (International publication number)：2003156846
Application date： Nov. 20, 2001
Publication date： May. 30, 2003
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 遠紫外光、とくにArFエキシマレーザー光を使用するミクロフォトファブリケ-ション本来の性能向上技術の課題を解決し、疎密依存性、サイドローブマージンに優れたポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】 活性光線または放射線の照射により、フッ素原子を有する特定の芳香族スルホン酸を発生する化合物及び下記一般式(I)及び一般式(II)で表される特定の繰り返し単位を有し、酸の作用により分解しアルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を含有するポジ型感光性組成物。[R1〜R8は、同じでも異なってもよく、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよい環状炭化水素基、ハロゲン原子、シアノ基、-COOH基、酸の作用により分解する基、又は-C(=O-X-A-R9を表す。R1〜R4は、それらの内の2つが互いに結合して環を形成してもよい。R5〜R8は、それらの内の2つが互いに結合して環を形成してもよい。]

Claim (excerpt)：

(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物及び(B)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を含有するポジ型感光性組成物に於いて、(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物が、少なくとも1つのフッ素原子及び/又は少なくとも1つのフッ素原子を有する基で置換された芳香族スルホン酸を発生する化合物であり、且つ(B)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂が、下記一般式(I)及び一般式(II)で表される繰り返し単位の内少なくとも1種を含むことを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】一般式(I)及び一般式(II)中:R1 〜R8は、同じでも異なってもよく、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよい環状炭化水素基、ハロゲン原子、シアノ基、-COOH基、酸の作用により分解する基、又は-C(=O)-X-A-R9 を表す。R1〜R4は、それらの内の2つが互いに結合して環を形成してもよい。R5〜R8は、それらの内の2つが互いに結合して環を形成してもよい。Xは、酸素原子、硫黄原子、-NH-、-NHSO2-、-NHSO2NH-から選ばれる2価の結合基を表す。Aは、単結合、アルキレン基、置換アルキレン基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、エステル基、アミド基、スルフォンアミド基、ウレタン基、及びウレア基よりなる群から選択される1種あるいは2種以上の基を組み合わせた2価の基を表す。R9 は、置換基を有していてもよい、アルキル基、環状炭化水素基あるいはアルコキシ基、-COOH、-COOR10'(R10'はR10の定義と同じものあるいは下記式(b1)又は(b2)で示される基を表す)、-CN、水酸基、-CO-NH-R10、-CO-NH-SO2-R10又は下記式(b1)又は(b2)で示される基を表す。R10は、置換基を有していてもよいアルキル基、又は置換基を有していてもよい環状アルキル基を表す。【化2】式(b1)及び(b2)中:R11〜R20は、各々、水素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。a、bは、1又は2である。

IPC (4)：

G03F 7/039 601 ,  C08F232/00 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/039 601 ,  C08F232/00 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (57)：

2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J100AR09P ,  4J100AR09Q ,  4J100AR32R ,  4J100AR36R ,  4J100BA02P ,  4J100BA02Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA05Q ,  4J100BA06P ,  4J100BA06Q ,  4J100BA11P ,  4J100BA11Q ,  4J100BA11R ,  4J100BA12P ,  4J100BA12Q ,  4J100BA15P ,  4J100BA15Q ,  4J100BA16P ,  4J100BA16Q ,  4J100BA34P ,  4J100BA34Q ,  4J100BA40P ,  4J100BA40Q ,  4J100BA55R ,  4J100BA58P ,  4J100BA58Q ,  4J100BB18R ,  4J100BC04P ,  4J100BC04Q ,  4J100BC04R ,  4J100BC07P ,  4J100BC07Q ,  4J100BC07R ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38