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J-GLOBAL ID：200903077553722029
圧電/電歪アクチュエータ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中島 三千雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993087997
Publication number (International publication number)：1994040035
Application date： Mar. 22, 1993
Publication date： Feb. 15, 1994
Summary：
【要約】【目的】 製造性が良く、他部材に対する接合面におけるシール性を容易に且つ安定して確保することのできる圧電/電歪アクチュエータを提供する。【構成】 基体内部に形成された加圧室の壁部の一部を圧電/電歪素子によって変形させるようにした圧電/電歪アクチュエータ45において、少なくとも一つの窓部76が設けられたスペーサプレート70と、閉塞プレート66と、前記窓部に対応した位置に第一の連通用開口部72が設けられた接続プレート68とを、それぞれグリーンシートにて積層形成し、一体焼成せしめてなるセラミックス基体44により、前記基体を構成すると共に、前記閉塞プレートの外面上に膜形成法によって形成された電極75,77および圧電/電歪層79からなる圧電/電歪作動部により、前記圧電/電歪素子78を構成した。
Claim (excerpt)：
基体内部に形成された加圧室の壁部の一部を、圧電/電歪素子によって変形させて、該加圧室に圧力を生ぜしめるようにした圧電/電歪アクチュエータにおいて、少なくとも一つの窓部が設けられたスペーサプレートと、該スペーサプレートの一方の側に重ね合わされて前記窓部を覆蓋する閉塞プレートと、該スペーサプレートの他方の側に重ね合わされて前記窓部を覆蓋する、前記窓部に対応した位置に開口部が設けられた接続プレートとを、それぞれグリーンシートにて積層形成し、一体焼成せしめてなるセラミックス体により、前記基体を構成すると共に、前記閉塞プレートの外面上に膜形成法によって形成された電極および圧電/電歪層からなる圧電/電歪作動部により、前記圧電/電歪素子を構成したことを特徴とする圧電/電歪アクチュエータ。
IPC (3)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/09
B41J 3/04 103 A
, H01L 41/08 C
