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J-GLOBAL ID：200903077556995581

半導体装置およびその作製方法および電気光学装置

Inventor： 山崎 舜平 ,  荒井 康行 ,  寺本 聡
Applicant, Patent owner： 株式会社半導体エネルギー研究所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994339162
Publication number (International publication number)：1996186267
Application date： Dec. 27, 1994
Publication date： Jul. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 アクティブマトリクス型の液晶表示装置において、機械的にフレキシブルでしかも軽量化された構成を得る。【構成】 アクティブマトリクス型の液晶表示装置を構成する一対の基板301と302を透光性および可撓性を有する樹脂基板で構成する。また一方の樹脂基板上に薄膜トランジスタ305を形成する。また成膜の際における樹脂基板表面におけるオリゴマー発生防止、および樹脂基板表面の平坦化のために樹脂層303を形成する。

Claim (excerpt)：

フィルム状の樹脂基板と、前記樹脂基板の表面に形成された樹脂層と、前記樹脂層上に形成された薄膜トランジスタと、を有することを特徴とする半導体装置。

IPC (2)：

H01L 29/786 ,  G02F 1/136 500