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J-GLOBAL ID：200903077628683679
ウェーハ位置検知方法及び縦型拡散・CVD装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
石戸 元
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993218807
Publication number (International publication number)：1995071929
Application date： Sep. 02, 1993
Publication date： Mar. 17, 1995
Summary：
【要約】【目的】 ウェーハの位置修正を速やかに簡単にしかも正確に行い、ウェーハをパーティクルを発生することなく確実に移替える。【構成】 カセット2とボート9の間で複数段に載置されているウェーハ3をツィーザ4により保持して搬送するウェーハ搬送機5に、ウェーハ検知センサ14を取付け、ウェーハ搬送機5を上下動可能にならしめる。
Claim (excerpt)：
カセット(2)とボート(9)の間で複数段に載置されているウェーハ(3)をツィーザ(4)により保持して搬送するウェーハ搬送機(5)に、ウェーハ検知センサ(14)を取付け、このウェーハ搬送機(5)を上方又は下方に移動することによりウェーハ(3)の上下の間隔(d)を測定することを特徴とするウェーハ位置検知方法。
IPC (5)：
G01B 11/14
, H01L 21/205
, H01L 21/22 511
, H01L 21/31
, H01L 21/68
