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J-GLOBAL ID：200903077641879442
プローブホルダ及び走査型プローブ顕微鏡
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 青山 正和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006095150
Publication number (International publication number)：2007271358
Application date： Mar. 30, 2006
Publication date： Oct. 18, 2007
Summary：
【課題】作業者の手を煩わすことなく簡単且つ短時間でプローブの交換を行うことができ、小型の走査型プローブ顕微鏡にも適用可能であること。【解決手段】試料Sに対向配置され、レバー部2aの先端に探針2bを有すると共に該レバー部の基端側が本体部2cに片持ち状態に支持されたプローブ2を複数固定するものであって、試料表面S1に対向する対向面10aを有し、該対向面に複数のプローブを、本体部を介してそれぞれ着脱自在に固定する固定板10と、該固定板を移動可能に支持するホルダ本体11と、固定板を移動させると共に複数のプローブのうち選択したいずれかのプローブを観察ポジションPに位置させる可動手段12とを備えているプローブホルダ3を提供する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
試料に対向配置されたプローブを複数固定するプローブホルダであって、
前記試料表面に対向する対向面を有し、該対向面に前記複数のプローブをそれぞれ着脱自在に固定する固定板と、
該固定板を移動可能に支持するホルダ本体と、
前記固定板を移動させると共に、複数の前記プローブのうち選択したいずれかのプローブを観察ポジションに位置させる可動手段とを備えていることを特徴とするプローブホルダ。
IPC (4)：
G01N 13/16
, G01B 21/30
, G01N 13/12
, G01N 13/14
G01N13/16 C
, G01B21/30
, G01N13/12 D
, G01N13/14 B
2F069AA60
, 2F069DD25
, 2F069GG04
, 2F069GG11
, 2F069GG62
, 2F069HH30
, 2F069LL03
, 2F069MM04
, 2F069MM32
