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J-GLOBAL ID：200903077646219874

段差基板用塗布溶液

Inventor： 堤 義高 ,  上村 輝久 ,  松村 光三良 ,  長谷川 正積
Applicant, Patent owner： 東ソー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991296585
Publication number (International publication number)：1993107767
Application date： Oct. 17, 1991
Publication date： Apr. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 段差上での塗布性が良好であり、固体撮像素子、半導体集積回路素子、液晶表示素子の製造工程に共通する重要な技術課題である凹凸のある下地へ高度な平坦性を与え、かつ安全性の高い塗布溶液を提供する。【構成】 樹脂及び溶媒又は樹脂、添加剤及び溶媒からなる段差基板用塗布溶液において、溶媒の主成分が所定の一般式に示される有機化合物(特に、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート又はエチル3-エトキシプロピオネート)である段差基板用塗布溶液。

Claim (excerpt)：

樹脂及び溶媒又は樹脂、添加剤及び溶媒からなる段差基板用塗布溶液において、溶媒の主成分が下記一般式(1)又は(2)に示される有機化合物であることを特徴とする段差基板用塗布溶液。【化1】(式中、R1は水素又は-C(=O)CH3を示し、R2、R3はメチル基又はエチル基を示す。)

IPC (6)：

G03F 7/11 502 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/302