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J-GLOBAL ID：200903077650677275
ガスレーザ装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
富田 和子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993076900
Publication number (International publication number)：1994291390
Application date： Apr. 02, 1993
Publication date： Oct. 18, 1994
Summary：
【要約】【目的】レーザ光取出し窓の汚損をなくして長寿命化を図り、その結果、レーザ出力を長時間にわたり安定に出力可能なガスレーザ装置を提供する。【構成】放電電極3a、3bと窓部4a、4bとの間に、レーザ光が通過しうる形状の隘路部13a、13bを設ける。この隘路部16a、16bにガス噴出口301a、301bを配置する。放電電極が配置されている空間には、ガス取出口304をもうけ、噴出口301a、301bから噴出されたガスを、放電電極3a、3b側に流す。【効果】噴出口301a、301bよりも窓側の空間314a、314bには、ガス流は生じず、放電電極側の空間の不純ガスは、噴出口301a、301bまでしか進入できない。従って、窓側の空間314a、314bは、不純ガスに汚染されず、レーザ光取出し窓へ付着することは無くなる。
Claim (excerpt)：
レーザガスを封入するための容器と、前記容器中に配置された一対の放電電極と、前記一対の放電電極間で発生したレーザ光を通過させるために前記容器に設けられた窓部と、前記容器中のレーザガスを取り出すためのガス取出口と、前記容器中にレーザガスを噴出するためのガス噴出口とを有するガスレーザ装置において、前記容器は、前記窓部と前記一対の放電電極との間に、レーザ光の連通する空間を断面方向に絞る隘路部を有し、前記隘路部の空間断面形状は、前記レーザ光が通過しうる形状であり、前記ガス取出口は、前記容器中の放電電極が配置されている空間に配置され、前記ガス噴出口は、前記隘路部内の空間に配置されていることを特徴とするガスレーザ装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01S 3/03 Z
, H01S 3/097 Z
Cited by examiner (6)
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