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J-GLOBAL ID：200903077668892076
加速度センサ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中野 雅房
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991354832
Publication number (International publication number)：1993164779
Application date： Dec. 18, 1991
Publication date： Jun. 29, 1993
Summary：
【要約】【目的】 外部から加速度や振動を加えることなく、故障診断やキャリブレーションをすることができる加速度センサを提供する。【構成】 枠型をしたフレーム1の中央にマス部2を配設し、4本のビーム3によってフレーム1にマス部2を両持ち状に支持してある。フレーム1の上面及び下面にはカバー4,5を接着してある。カバー4,5の内面にはマス部2が変位できるように窪み4a,5aを形成してあり、窪み4aの底にはマス部2の変位を検出するための変位検出用電極6を設けてあり、窪み5aの底には交流電圧による静電引力を及ぼしてマス部2を振動させるための駆動用電極7を設けてある。
Claim (excerpt)：
弾性を有するビームにより支持体にマス部を揺動自在に支持させ、当該マス部の変位を静電容量変化として電気的に検出する加速度センサにおいて、前記マス部の電極面に対向させてマス部の変位を検出するための変位検出用電極を配置し、当該マス部の電極面に対向させてマス部に静電引力を及ぼして変位させるための駆動用電極を配置したことを特徴とする加速度センサ。
Patent cited by the Patent：
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