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J-GLOBAL ID：200903077677107551
照明装置、位相板、検査方法、検査装置およびマスクの製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
大胡 典夫
, 竹花 喜久男
, 宇治 弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002233254
Publication number (International publication number)：2004070249
Application date： Aug. 09, 2002
Publication date： Mar. 04, 2004
Summary：
【課題】レーザ光を被検体に均一に照明できる照明装置と位相板と、それを用いた検査装置、検査方法及びマスクの製造方法を提供すること。【解決手段】レーザ光源1の光軸上の前方に、光軸に出力側面が傾斜して所定回転数で回転する回転板2を設け、この回転板2の前方に固定位相板3を、この固定位相板3の前方にコンデンサレンズ5を設ける。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
レーザ光源の光軸上の前方に、該光軸に出力側面が傾斜して配置されて所定回転数で回転する回転板と、この回転板の前方に固定位相板と、この固定位相板の前方にコンデンサレンズとを設けたことを特徴とする照明装置。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (2)：
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