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J-GLOBAL ID：200903077708384621
走査型露光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993176781
Publication number (International publication number)：1995037774
Application date： Jul. 16, 1993
Publication date： Feb. 07, 1995
Summary：
【要約】【目的】 露光ムラを無くすこと。【構成】 露光むら検出回路19が、ウエハ-ステ-ジ16上の光量検出器17で照明領域100を走査した結果から、照明領域100における走査方向と直交する方向における露光むらを検出し、露光むら補正回路20を介して、露光光の光路に置かれた照度分布可変レンズ7と可変スリット9とを用いて照明領域100の露光むらを補正する。照度分布可変レンズ7は、複数のレンズを光軸方向に動かすことにより、曲線状の露光むらを直線状の露光むらに変え、可変スリット9は、それを構成する複数枚のブレ-ドのエッジの傾きを変えることにより、この直線状の露光むらを補正し、均一な露光量分布とする。
Claim (excerpt)：
マスクと被露光基板を第1方向に延びた断面形状を有する露光ビ-ムで当該第1方向と交差する第2の方向に走査することにより前記マスクのパタ-ンを前記被露光基板上に順次投影する走査型露光装置において、前記第1方向に延びる開口を備え、前記第1方向に沿った複数の箇所で前記第2方向に関する前記開口の幅を変えうる、前記露光ビ-ムを形成するための絞り手段と、前記露光ビ-ムの前記第1方向に関する強度分布を変化せしめる強度分布変更手段とを有することを特徴とする走査型露光装置。
IPC (2)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 518
, H01L 21/30 516 C
, H01L 21/30 516 D
