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J-GLOBAL ID：200903077713089069

X-Yアドレス指定可能な電気的マイクロスイッチアレイとこれを使用したセンサマトリックス

Inventor： ユ ガン ,  カオ ヨン
Applicant, Patent owner： ユニアックス コーポレイション
Agent (1)： 谷 義一 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000529758
Publication number (International publication number)：2002502128
Application date： Feb. 02, 1999
Publication date： Jan. 22, 2002
Summary：

【要約】本発明は、一般的に、薄膜半導体膜を含む二端子の電気的マイクロスイッチを製造すること、およびこれらのマイクロスイッチを使用して列-行(x-y)のアドレス指定可能なマイクロスイッチマトリックスを構築することに関する。これらのマイクロスイッチは二端子の装置であり、これらを通して電流および電位(またはこれらの導関数または積分値)が、外部バイアスの大きさまたは極性によりオンおよびオフ切り換えされうる。マイクロスイッチは、電極/半導体/電極の薄膜配置で半導体の薄膜から作製される。列-行のアドレス指定可能な電気的マイクロスイッチマトリックスは、高画素密度で大面積で作製されうる。このようなマトリックスは、外部の物理的条件(光照射、温度、圧力、磁場のような)に応じて変化する電気的特性を有するセンサ層と集積化され、これによって種々の検出マトリックスを形成することができる。

Claim (excerpt)：

複数の電気的マイクロスイッチを含むマイクロスイッチアレイであって、複数のマイクロスイッチの各々のメンバーが、第1の電極/半導体/第2の電極の層の形態であり、該半導体層がアレイのメンバーによって共有されたユニット体であることを特徴とするマイクロスイッチアレイ。

IPC (7)：

H01L 49/02 ,  G01J 1/02 ,  H01L 27/146 ,  H01L 51/00 ,  H01L 29/872 ,  H01L 31/09 ,  H01L 35/24

FI (7)：

H01L 49/02 ,  G01J 1/02 Q ,  H01L 35/24 ,  H01L 27/14 C ,  H01L 29/28 ,  H01L 29/48 Z ,  H01L 31/00 A

F-Term (39)：

2G065AA04 ,  2G065AA11 ,  2G065AB02 ,  2G065AB04 ,  2G065AB05 ,  2G065BA06 ,  2G065BA09 ,  2G065BA29 ,  2G065BA34 ,  2G065BB25 ,  2G065BB30 ,  2G065BE01 ,  4M104AA01 ,  4M104AA02 ,  4M104AA06 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB36 ,  4M104GG03 ,  4M104GG05 ,  4M118BA05 ,  4M118CA06 ,  4M118CB01 ,  4M118CB07 ,  4M118CB08 ,  4M118FB15 ,  5F088AA01 ,  5F088AB02 ,  5F088AB09 ,  5F088AB11 ,  5F088BA16 ,  5F088BA18 ,  5F088BB10 ,  5F088DA01 ,  5F088EA04 ,  5F088EA08 ,  5F088FA02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• X線画像センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-208870   Applicant：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
• 特開昭63-300576
  
• 半導体装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-336298   Applicant：富士電機株式会社