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J-GLOBAL ID：200903077716887098

塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置および製造方法

Inventor： 北村 義之 ,  関戸 俊英 ,  金森 浩充
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Agent (1)： 長門 侃二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996066530
Publication number (International publication number)：1997253556
Application date： Mar. 22, 1996
Publication date： Sep. 30, 1997
Summary：

【要約】【課題】 エア抜き作業を簡単に行えると同時に、スリットダイとガラス基板との間のクリアランスを正確かつ安定して設定することができる塗布装置および塗布方法、並びに、これら塗布装置および塗布方法を用いたカラーフィルタの製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】 カラーフィルタの製造に用いられる塗布方法を実施する塗布装置は、スリットダイ40と、このスリットダイ40をその吐出口の長手方向に沿う軸線周りに回転自在に支持する回転ホルダ66と、エア抜き作業のためにスリットダイ40が上向きに回転された後、スリットダイ40を回転ホルダ66ともに元の作動姿勢まで回転して戻し、その作動姿勢にて、回転ホルダ66をダイホルダ32に固定するテーパピン70とを備えている。

Claim (excerpt)：

塗布液を供給する供給手段と、前記供給手段から供給された塗布液を吐出するために一方向に延びる吐出口を有する塗布器と、前記塗布器および被塗布部材のうちの少なくとも一方を相対的に移動させる移動手段とを備えた塗布装置において、前記吐出口の長手方向に沿う軸線周りに前記塗布器を回転可能に支持する支持手段と、前記被塗布部材に対し前記吐出口が対向して平行となる作動姿勢に前記塗布器を位置決めする位置決め手段とを備えたことを特徴とする塗布装置。

IPC (2)：

B05C 5/02 ,  G02B 5/20 101

FI (2)：

B05C 5/02 ,  G02B 5/20 101