薄膜の製造方法

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：渡辺望稔 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999084170
Publication number (International publication number)：2000273619
Application date： Mar. 26, 1999
Publication date： Oct. 03, 2000
Summary：

【要約】【課題】サーモクロミック特性を示すVO2 を主成分とする薄膜を簡便に、再現性よく製造できる方法の提供。【解決手段】酸化バナジウムを含有するターゲットを用い、H2 ガスを含有する雰囲気で反応性スパッタリング法を行い、VO2 を主成分とする薄膜を基体上に製造する薄膜の製造方法。

Claim (excerpt)：

酸化バナジウムを含有するターゲットを用い、H2 ガスを含有する雰囲気で反応性スパッタリング法を行い、VO2 を主成分とする薄膜を基体上に製造する薄膜の製造方法。

IPC (2)：

C23C 14/08 , C23C 14/35

FI (2)：

C23C 14/08 G , C23C 14/35 Z

F-Term (3)：

4K029BA43 , 4K029CA06 , 4K029DC05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

特開昭58-135154
特公昭45-020967
特開昭62-190612

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Cited by examiner (5)

特開昭58-135154
特公昭45-020967
特開昭62-190612

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