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J-GLOBAL ID：200903077743445617
形状計測装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
富澤 孝 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994247091
Publication number (International publication number)：1996086622
Application date： Sep. 15, 1994
Publication date： Apr. 02, 1996
Summary：
【要約】【目的】 レーザ光の偏向角度と点滅間隔とを予めキャリブレートしてこれらを考慮した補正を行ない測定精度を向上した形状計測装置を提供すること。【構成】 駆動タイミング手段12、13を設け、偏向照射装置3の実際の駆動特性を補正するキャリブレーションを行うこととし、点滅タイミング手段8、9を設け、レーザ光源1の点滅発光をキャリブレーションして被測定面上等間隔をなす点滅パターンで測定するようにした。
Claim (excerpt)：
スリット状に整形されたレーザ光を点滅して発生するレーザ光源と、前記レーザ光を被測定面に置いた被測定物体に向けて偏向走査する偏向照射装置と、前記レーザ光の照射により被測定物体の表面に生じるストライプパターンを撮像する撮像手段とを有する形状計測装置において、前記偏向照射装置による測定範囲全体にわたる偏向走査が前記撮像手段の1フレーム分の撮像時間に行われるように前記偏向照射装置を駆動する駆動手段と、前記駆動手段による駆動信号と前記偏向照射装置の実際の偏向角との間の非線形関係を補正するように前記駆動手段の駆動信号の発信を調整する駆動タイミング手段と、前記撮像手段による撮像データと偏向角データとから被測定物体の形状を算出する形状演算手段とを有することを特徴とする形状計測装置。
IPC (2)：
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