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J-GLOBAL ID：200903077765977388

アルカリ現像装置の洗浄液と洗浄方法

Inventor： 松本 康二 ,  馬場 成人
Applicant, Patent owner： 日本表面化学株式会社
Agent (1)： 倉内 基弘 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993226655
Publication number (International publication number)：1995056357
Application date： Aug. 20, 1993
Publication date： Mar. 03, 1995
Summary：

【要約】【目的】 アルカリ可溶型現像装置の洗浄液及び洗浄方法を提供する。【構成】 この洗浄液は、多価アルコール又はその誘導体、有機カルボン酸又はその塩類及び水酸化アルカリ又はアルカリ土類金属を含有する第一段階洗浄液と、無機酸を単独で或いは有機カルボン酸又はその塩類と共に含有する第二段階洗浄液とよりなる。

Claim (excerpt)：

多価アルコール又はその誘導体、有機カルボン酸又はその塩類及び水酸化アルカリ又はアルカリ土類金属を含有する第一段階洗浄液と、無機酸を単独で或いは有機カルボン酸又はその塩類と共に含有する第二段階洗浄液とよりなるアルカリ現像装置の洗浄液。

IPC (3)：

G03F 7/30 ,  G03F 7/32 501 ,  H01L 21/027