Pat

J-GLOBAL ID：200903077769234827

走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 上田 和浩
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 平木 祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993283310
Publication number (International publication number)：1995134133
Application date： Nov. 12, 1993
Publication date： May. 23, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ヘッドを変えることなく、試料の広い範囲の観察と高分解能観察が可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。【構成】 走査型プローブ顕微鏡の3次元アクチュエータを比較的肉厚の薄い高分解能用円筒型圧電素子1と比較的肉厚の厚い広範囲走査用圧電素子2からなる積層構造とし、試料の広い範囲を観察するときは広範囲走査用圧電素子2を用いて走査し、原子像を観察するときは高分解能用円筒型圧電素子1を用いて走査することにより、圧電素子を制御する電源を変えたり、ヘッドを交換することなく、試料の広い範囲の観察と原子像の観察を可能とする。

Claim (excerpt)：

探針が取り付けられた3次元アクチュエータを搭載したヘッドと、試料を載置する試料台と、ヘッドと試料台の間の相対距離を調整するためのZ軸方向粗動手段と、ヘッドと試料台の間のXY方向相対位置を調整するためのX軸Y軸方向粗動手段と、3次元アクチュエータにXY走査信号を印加するXY走査回路と、探針と試料間の相互作用を検出する相互作用検出手段とを備え、3次元アクチュエータにより探針を試料面上でXY方向に走査しながら探針と試料間の相互作用を検出する走査型プローブ顕微鏡において、前記3次元アクチュエータは広範囲XY走査用アクチュエータと高分解能狭域XY走査用アクチュエータとを一体化して組み合わせたものを含み、広範囲走査機能と高分解能用走査機能とを同時に有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (6)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66 ,  H04R 17/00 330