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J-GLOBAL ID：200903077770851830
被処理物の移載装置およびその駆動方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大井 正彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992175940
Publication number (International publication number)：1993343499
Application date： Jun. 11, 1992
Publication date： Dec. 24, 1993
Summary：
【要約】【目的】 被処理物支持体に対する被処理物の移載において、被処理物が被処理物担持部材に対して所期の状態で存在することの有無を確認できる被処理物の移載装置およびその移載作業動作を確実に実行できる駆動方法を提供すること。【構成】 移載装置は、移動される移載装置本体41と、進退可能な被処理物担持部材45と、被処理物担持部材に設けられた例えば3つの超音波発振素子より成る非接触型被処理物検出センサー56とを有する。移載装置の駆動方法では、被処理物支持体から離間した状態または被処理物支持体中に挿入された状態で被処理物担持部材上に被処理物が担持されていること、あるいは被処理物支持体中に挿入された状態で被処理物担持部材に対して被処理物が所定の状態で被処理物支持体に支持されていることの有無が確認される。
Claim (excerpt)：
板状の被処理物を支持する被処理物支持体に対して被処理物を移載する被処理物の移載装置において、前記被処理物支持体に正対する移載作業位置に移動される移載装置本体と、この移載装置本体に前進方向および後退方向に進退可能に設けられた、被処理物を載置状態に担持する被処理物担持部材と、この被処理物担持部材に設けられた非接触型被処理物検出センサーとを有して成ることを特徴とする被処理物の移載装置。
IPC (2)：
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