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J-GLOBAL ID：200903077778214260

固体撮像素子とその製造方法

Inventor：
福所 孝

About 福所 孝


Applicant, Patent owner：
ソニー株式会社

About ソニー株式会社


Agent (1)： 船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995214347
Publication number (International publication number)：1997064325
Application date： Aug. 23, 1995
Publication date： Mar. 07, 1997
Summary：
【要約】【課題】 従来のマイクロオンチップレンズ作製に伴う不都合を解消し、かつ集光効率を高めた固体撮像素子の提供が望まれている。【解決手段】 光電変換を行う受光部3と、その受光面3aを覆うことなく設けられた遮光膜10とを備えた固体撮像素子20である。受光部3の受光面3aを覆って第一の透明材料からなるオーバーコート層21を設け、オーバーコート層21における受光面3aの直上部に、受光面3a側に向かって凸となる底面を有した凹部22を設けた。凹部22内に、第一の透明材料より高い屈折率を有する第二の透明材料からなるレンズ部23を埋設した。
Claim (excerpt)：
光電変換を行う受光部と、該受光部の受光面を覆うことなく設けられた遮光膜とを備えた固体撮像素子において、前記受光部の受光面を覆って第一の透明材料からなるオーバーコート層を設け、該オーバーコート層における前記受光部の受光面の直上部に、該受光面側に向かって凸となる底面を有した凹部を設け、該凹部内に、前記第一の透明材料より高い屈折率を有する第二の透明材料からなるレンズ部を埋設したことを特徴とする固体撮像素子。
IPC (3)：
H01L 27/14 ,  H01L 27/148 ,  H04N 5/335
FI (3)：
H01L 27/14 D ,  H04N 5/335 V ,  H01L 27/14 B
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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