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J-GLOBAL ID：200903077793234129

レーザーによる透明試料の内部加工過程の測定方法及びそのための装置

Inventor： 伊藤 義郎 ,  清久 悟志 ,  小倉 勉
Applicant, Patent owner： 科学技術振興事業団
Agent (1)： 清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001140259
Publication number (International publication number)：2002336981
Application date： May. 10, 2001
Publication date： Nov. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】 レーザーによる透明試料内部加工過程を詳細に観察することができるレーザーによる透明試料の内部加工過程の測定方法及びそのための装置を提供する。【解決手段】 レーザーによる透明試料の内部加工過程を測定するにあたり、レーザー加工のための基本波を生成する加工用レーザー1と、測定光としての基本波の倍波を生成する測定用レーザー21と、前記倍波を遅延させる時間差発生装置22と、前記基本波と倍波を照射する透明試料6と、この透明試料6からの測定光のみを透過させるフィルタ9と、このフィルタ9を透過した測定光を撮像する撮像装置10とを具備する。

Claim (excerpt)：

レーザーの基本波を透明試料内部に集光照射して内部マーキング加工を施し、前記レーザーの基本波の倍波である測定光の時間差照射により、前記透明試料のレーザー加工時のレーザー誘起現象の時間変化を測定することを特徴とするレーザーによる透明試料の内部加工過程の測定方法。

IPC (3)：

B23K 26/00 ,  B23K 26/02 ,  G01N 21/41

FI (5)：

B23K 26/00 P ,  B23K 26/00 B ,  B23K 26/00 G ,  B23K 26/02 C ,  G01N 21/41 Z

F-Term (19)：

2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059BB15 ,  2G059EE01 ,  2G059EE04 ,  2G059FF04 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059KK04 ,  2G059LL04 ,  4E068AB01 ,  4E068CA17 ,  4E068CC02