Pat
J-GLOBAL ID：200903077806799023
表面形状検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大塚 康徳 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996125479
Publication number (International publication number)：1997304029
Application date： May. 21, 1996
Publication date： Nov. 28, 1997
Summary：
【要約】【課題】 簡単な構成にしながらも、被検査物の移動等による影響を少なくしてその表面の形状を高精度に検査する。【解決手段】 被検査物である感光ドラム4の回転軸と光の照射方向の成す角度を鋭角にし、その感光ドラム4に断面が長方形で実質的に均一なレーザ光を照射する。そして、正反射の反射光軸上に位置する平凸型シリンドリカルレンズ5で拡散した光を収束させ、半透明スクリーン6上に反射光による像を投影する。CCDカメラ7は、この半透明スクリーン6の背面から像を撮像し、その輝度信号を処理装置8に送出する。処理装置8では、輝度の範囲が正常範囲かどうかで、感光ドラム4の表面が良好か否かを判断、もしくはその判断するための像を表示する。
Claim (excerpt)：
被検査物の表面形状を検査する表面形状検査装置であって、被検査物の表面に、所定面積を有すると共に実質的に均等な強度を有する光を照射する照射手段と、該照射手段による照射の正反射光軸上にあって、反射光を結像して所定のスクリーンに投影させる投影手段と、該投影手段で投影された像を撮像する撮像手段とを備え、前記撮像手段で撮像された映像に基づいて、前記被検査物の表面状態を検査することを特徴とする表面形状検査装置。
IPC (4)：
G01B 11/24
, G01B 11/30
, G01N 21/88
, G06T 7/00
G01B 11/24 A
, G01B 11/30 A
, G01N 21/88 A
, G06F 15/62 400
