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J-GLOBAL ID：200903077875680011

加速度センサ

Inventor： 佐藤 顕 ,  岡本 幸一
Applicant, Patent owner： 株式会社トーキン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994261022
Publication number (International publication number)：1996101060
Application date： Sep. 30, 1994
Publication date： Apr. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 出力感度のばらつきが少なく、加速度検出精度のよい、加速度センサを供する。【構成】 圧電セラミックスシート(a1〜a6)と電極層(b1〜b7)を交互に印刷積層し、最終層としてバイモルフ両端または片端にスペーサとして、セラミックス層a7を印刷積層し、一体焼結してなる圧電バイモルフ式加速度センサ。

Claim (excerpt)：

圧電セラミックシートと電極層とを交互に印刷積層し、同時焼結して得られる積層型セラミックスからなる圧電バイモルフ式加速度センサにおいて、バイモフルの両端または片端に印刷積層で形成され、同時焼結して得られるスペーサを具備したことを特徴とする加速度センサ。

IPC (3)：

G01H 11/08 ,  G01P 15/09 ,  G03B 5/00