異物除去装置及び異物位置検出装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：黒田壽
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999219168
Publication number (International publication number)：2001041904
Application date： Aug. 02, 1999
Publication date： Feb. 16, 2001
Summary：

【要約】【課題】異物の正確な位置を自動的に検出して、その異物を除去することができる異物除去装置、及びタッチパネルの透明電極上に存在する導電性異物の位置検出作業を自動化することができる異物位置検出装置を提供すること。【解決手段】タッチパネル1の透明電極上に付着した銀ペーストによる粉体を除去する工程において、該タッチパネルの表面をスキージ型押圧部材で押圧して該粉体の位置を検出し、リニアモータ10を制御して、CCDカメラ5と該粉体を除去するレーザ装置6とを保持するX-Yステージ9を該粉体位置に移動して該CCDカメラで粉体を撮像する。この撮像画像に基づいて、上記粉体の正確な位置を算出し、上記レーザ装置で該粉体を除去する。この工程を自動的に行う。

Claim (excerpt)：

所定の部材上に存在する異物を除去する異物除去装置において、駆動手段によって移動可能で、該異物が存在する領域を撮像する撮像手段と、該駆動手段を制御して該撮像手段を撮像位置に移動させる駆動制御手段と、該撮像手段の撮像画像中に異物が撮像されたときに、該撮像画像に基づいて該異物の位置を算出する位置算出手段と、該異物を除去する異物除去手段と、該位置算出手段で算出した異物位置に基づき、該異物除去手段の照準を合わせる照準手段とを備え、該照準手段により照準が合わせられた異物を該異物除去手段によって除去することを特徴とする異物除去装置。

IPC (6)：

G01N 21/956 , B23K 26/00 , G01N 27/00 , G02F 1/1333 , G06F 3/033 360 , B23K101:36

FI (7)：

G01N 21/956 Z , B23K 26/00 A , B23K 26/00 M , B23K 26/00 H , G01N 27/00 Z , G02F 1/1333 , G06F 3/033 360 Z

F-Term (26)：

2G051AA90 , 2G051AB01 , 2G051BA10 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051DA07 , 2G051DA17 , 2G051EA00 , 2G060AA09 , 2G060AE40 , 2G060AF20 , 2G060AG11 , 2G060EB07 , 2G060HC10 , 2H089HA00 , 2H089QA16 , 4E068CB02 , 4E068CB08 , 4E068CC02 , 4E068DA00 , 4E068DA08 , 5B087AA00 , 5B087AC14 , 5B087CC13 , 5B087CC16 , 5B087CC41

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